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AnPT NP001 系列等离子
2022-03-11 09:21:46
优异的均匀性、高产能；低生产成本
n 满足MSAP/HDI板,Flex/Rigid-Flex等各 种产品和工艺制程应用需求，具有良好的工艺性能
n 优异的工艺性能，具备较高的处理均匀性
n 水平-双极馈电型电极，保证产品双面同步均匀处理
n 独特的气体分配及优化的抽气导流设计
n 高效、高产能; 满足日益增长的新产品和新制程对产能的高要求
n 可灵活配置电极及气体分配方案，适应不同尺寸产品及各种载具生产环境的多种工艺需求
n 触控式操作界面，直观的图形界面可实时控制监控生产过程及工艺变量
n 整机设计紧凑，一体化设计整合各组件于主机器内， 占地面积小
n 极低的生产保养成本、维护简单便捷
n 13.56GHz自适应射频电源，具有优异的稳定性和工艺可重复性
n PCB印刷电路板行业
n COB,COF,IC载板及半导体行业
n LED、LCD、玻璃行业
n 电子行业及工业应用
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AnPT NP001 系列等离子 |
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型号 |
AnPT-NP001 |
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生产板尺寸 |
板厚 |
0.1-12mm (<1mm, 托盘需要定制) |
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三流道 |
220-280×50-116mm（x＊y） |
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四流道 |
220-280×50-85mm（x ＊y） |
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活化 |
10-15秒 |
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抽真空+活化+破真空 |
30-40秒 |
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水滴角 |
＜30° |
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打印值 |
40-50dyne/cm |
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气体用量 |
O2/Ar 30ml/min；破真空氮气30ml/min |
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真空能力 |
极限真空<30mT, 漏率<30mT/min; 工艺真空度200-300mT |
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射频电源 |
500W/13.56GHz |
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气体纯度 |
99.999% |
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应用领域
n 表面清洁-可有效去除产品表面污染物，包括有机物，氧化物…
n 表面活化或改性-活化产品表面，增强表面润湿性（亲水性)和表面能。有效提升附 着力（结合力)
n 表面蚀刻-可去除表面或精细线路间光刻胶/干膜残留(显影残留)
n 绿油残留、有机物、金属氧化物去除
n 表面活化与清洁
n 表面改性
l 层压前处理改善材料间结合力，消除压合层分层
l 压膜前处理，改善压膜附着力，消除不良
l PI粗化，补强前处理，增强补强贴合结合力
l 防焊前处理，有效防止涂覆防焊油墨脱落
l 丝印字符/喷码前处理，保证字符清晰、无脱落
l 材料表面活化改性，改善难粘材料间可粘性，提升粘接结合力
l 改善材料表面亲水性(润湿性), 提升材料可涂覆性和金属溅镀性
AP3系列适用于PCB/FPC/MSAP/Substrate等各种基材和多种应用需求
三通道或四通道可以切换，自动投收板
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设备尺寸及规格 |
长x宽x高 |
1700mm ( L ) × 1250mm ( W ) ×2300mm ( H )
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净重 |
800Kg |
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工艺腔体 |
腔体尺寸(长x宽x高) |
360*440MM |
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通道数 |
1-4通道可调 |
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电极 |
电极尺寸 有效处理面积 |
240-300mm |
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电极类型 |
腔体式电极 |
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射频电源 |
功率规格 |
500W |
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射频频率 |
13.56GHz |
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气体控制 |
标准规格
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标准_5slm、 5slm, |
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质流量计最多可配置数 |
2-3 |
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真空泵 |
湿式真空泵 |
PZ60 |
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净化氮气流量 |
5slm |
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控制系统 |
人机界面 |
触屏人机界面 |
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厂务要求 |
供电需求 |
220V,30A, |
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工艺气体接口 |
快插管径Φ6 |
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工艺气体种类及纯度 |
O2=99.999%; N2=99.999%; Ar=99.999% |
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工艺气体供应压力 |
≤0.6Mpa |
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净化氮气接口 |
快插管径Φ6 |
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净化气体纯度 |
99.9% |
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净化气体供应压力 |
≤0.6Mpa |
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压缩空气接口类型 |
快插管径Φ6 |
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压缩空气要求 |
洁净、干燥 |
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压缩空气供应压力 |
≤0.6Mpa |
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尾气接口 |
KF40 |
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