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H30 系列等离子机
2022-02-28 14:24:47
H30系列等离子机
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型号 |
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AnPT-H30D |
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生产板尺寸 |
板厚 |
0.03-12mm |
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电极尺寸 |
最大 |
550x630mm |
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层数 |
双排15*2 |
30 |
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Cycle Time |
Desmear |
15-20min |
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表面清洁活化 |
10-15min |
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产能（500x250mm) |
Desmear |
60pnl/hour |
120 pnl/hour |
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表面清洁活化 |
60 pnl/hour |
120 pnl/hour |
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均匀性 |
>80% |
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上中下三槽；每槽 5 个点 |
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蚀刻速率 |
>0.3um/min |
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CF4 用量(运行成本) |
3%-8% (Desmear) |
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真空能力 |
极限真空<30mT, 漏率<20mT/min; 工艺真空度 200-300mT |
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射频电源 |
5-10KW/40KHz |
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氮气发生器纯度 |
99% |
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优异的均匀性、高产能；低生产成本n 满足MSAP/HDI板,高厚径比硬板，Flex/Rigid-Flex等各 种产品和工艺制程应用需求，具有良好的工艺性能 n 优异的工艺性能，具备较高的处理均匀性和蚀刻速率 n 垂直-双极馈电型电极，保证产品双面同步均匀处理 n 独特的气体分配及优化的抽气导流设计，确保大尺寸及大批量处理的均匀性、高效 n 高效、高产能; 满足日益增长的新产品和新制程对产能的高要求 n 可灵活配置电极及气体分配方案，适应不同尺寸产品及各种载具生产环境的多种工艺需求 n 触控式操作界面，直观的图形界面可实时控制监控生产过程及工艺变量 n 整机设计紧凑，一体化设计整合各组件于主机器内， 占地面积小 n 极低的生产保养成本、维护简单便捷 n 40KHz自适应射频电源，具有优异的稳定性和工艺可重复性 |
AnPT H30 系列等离子机 |
应用领域n 孔内除胶环氧树脂Epoxy、聚酰亚胺PI n Desmear机械钻孔后孔内胶渣(钻污)去除 n Etch Back回蚀/凹蚀 n Carbon Removal碳化物去除 l 激光成孔盲孔孔内去胶(碳化物) l Flex柔性板激光切割金手指后边缘碳化物去除 n PTFE活化，确保高频、通讯、背板等孔金属化性能 n Descum精细线路间残留干膜去除(显影后残留) n 绿油残留、有机物、金属氧化物去除 n 纳米级表面粗化、应力释放 n 表面活化与清洁 n 表面改性 l 层压前处理改善材料间结合力，消除压合层分层 l PI粗化，补强前处理，增强补强贴合结合力 l 防焊前处理，有效防止涂覆防焊油墨脱落 l 丝印字符前处理，保证字符清晰、无脱落 l 材料表面活化改性，改善难粘材料间可粘性，提升粘接结合力 l 改善材料表面亲水性(润湿性), 提升材料可涂覆性和金属溅镀性
n V30系列适用于PCB/FPC/MSAP/Substrate等各种基材和多种应用需求
n 可配自动化装板系统 |
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AnPT H30标准技术规格
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整机尺寸 |
长 x 宽 x 高 |
1200 长 x 1200 宽 x 2180 高 mm |
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净重 |
2500 kg |
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地面承重 |
设备总重1.7T，沉重0.6T/m2 |
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工艺腔 |
载板能力 |
15*2层 |
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射频电源 |
标配功率 |
10 kW |
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频率 |
40 kHz |
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气体控制 |
气体 |
导电棒分布两侧，工艺气体从前腔门进，腔体背部排气 |
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可选流量计 |
500, 1000, 2000 or 5000 sccm,标配 2 路 |
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最多可配流量计数量 |
5 |
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电气控制 |
人机界面 |
PLC+Windows 系统电脑，触屏式 |
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真空泵组 |
爱德华 |
GXS160/1750 |
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标准泵组能力 |
630 cfm |
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冷却水要求 |
5 slm |
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氮气要求 |
14 slm |
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厂务要求 |
电源 |
380V,三相四线20kw（设频满负荷含附属设备）， |
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氮气发生器(选配) |
80-100 psi, 5.3 scfm CDA 6.35mm (1/4 in.) |
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冷水机(选配) |
70000 BTU, 380 VAC, 3 Phase 35-50 Amp, 50/60 Hz |
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尾气处理塔（选配） |
220V, 38.1mm 接口 |
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尾气接口 |
NW40 |
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工艺气体接口 |
6.35 mm (0.25 in.) Swagelok |
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工艺气体纯度 |
CF4 = 99.97%; O2 = 99.996%; N2 = 99.99%; Ar = 99.999%; H2 = 99.999% |
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工艺气体压力 |
1.03 bar (15 psig 最小) 至 1.7 bar (25 psig 最大) |
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净化氮气接口 |
6.35 mm (0.25 in.) Swagelok Tube |
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净化氮气纯度 |
N2 = 99.9% |
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净化氮气压力 |
1.03 bar (15 psig 最小) 至 1.7 bar (25 psig 最大) |
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安装环境 |
温度40摄氏度以下，湿度85以下 |
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废气 |
配备废气处理塔或者接入厂务酸排，静态抽风压力不低于5psi,寸半抽风管 |
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电极 |
冷却 |
连个回路交叉通水，进出水方向相反 |
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