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H17 等离子机
2020-10-14 15:50:37
特点和优势
§ 特别适合 FPC, COF,ACF 以及 IC 载板生产
§ 应用于
ü 表面清洁、去氧化
ü 活化改性，提升附着力和可涂覆性
(丝印、喷码、化金、压合/膜、贴钢片/强)
ü 除胶，除绿油、显影残留
§ 均匀性好，产能高
§ 一体式挂架可水平装载 FPC 或基板，装载快捷简便
§ 设计紧凑实用，生产高效经济;占地面积小，耗气量低
§ 实时温控电极确保工艺稳定和可重复性
§ 操作简单，维护便捷
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型号 |
AnPT-H17 |
AnPT-H17D |
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生产板尺寸 |
板厚 |
0.1-12mm |
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电极尺寸 |
850x530mm |
525x830mm |
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层数 |
17 |
34 |
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Cycle Time |
Desmear |
15-20min |
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表面清洁活化 |
10-15min |
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产能 （830x250mm) |
Desmear |
90-130pnl/hour |
150-220 pnl/hour |
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表面清洁活化 |
130-180 pnl/hour |
250-350 pnl/hour |
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均匀性 |
>80% |
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上中下三槽；每槽 5-9 个点 |
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蚀刻速率 |
>0.3um/min |
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CF4 用量(运行成本) |
3%-8% (Desmear) |
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真空能力 |
极限真空<30mT, 漏率<20mT/min; 工艺真空度 200- 300mT |
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射频电源 |
10KW/40KHz |
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氮气发生器纯度 |
99% |
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规格
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整机尺寸 |
长 x 宽 x 高 |
1000 长 x 1200 宽 x 1780 高 mm |
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净重 |
2500 kg |
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地面承重 |
设备总重1.7T，沉重0.6T/m2 |
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工艺腔 |
载板能力 |
17 层或 34 层 |
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射频电源 |
标配功率 |
10 kW |
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频率 |
40 kHz |
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气体控制 |
气体 |
导电棒分布两侧，工艺气体从前腔门进，腔体背部排气 |
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可选流量计 |
500, 1000, 2000 or 5000 sccm,标配 2 路 |
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最多可配流量计数量 |
5 |
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电气控制 |
人机界面 |
PLC+Windows 系统电脑，触屏式 |
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真空泵组 |
汉中 |
PS902，品牌汉钟，产地上海，极限压力10mTorr,最大抽速900立方每小时 |
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标准泵组能力 |
630 cfm |
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冷却水要求 |
5 slm |
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氮气要求 |
14 slm |
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厂务要求 |
电源 |
380V,三相四线20kw（设频满负荷含附属设备）， |
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氮气发生器(选配) |
80-100 psi, 5.3 scfm CDA 6.35mm (1/4 in.) |
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冷水机(选配) |
70000 BTU, 380 VAC, 3 Phase 35-50 Amp, 50/60 Hz |
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尾气处理塔（选配） |
220V, 38.1mm 接口 |
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尾气接口 |
NW40 |
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工艺气体接口 |
6.35 mm (0.25 in.) Swagelok |
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工艺气体纯度 |
CF4 = 99.97%; O2 = 99.996%; N2 = 99.99%; Ar = 99.999%; H2 = 99.999% |
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工艺气体压力 |
1.03 bar (15 psig 最小) 至 1.7 bar (25 psig 最大) |
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净化氮气接口 |
6.35 mm (0.25 in.) Swagelok Tube |
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净化氮气纯度 |
N2 = 99.9% |
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净化氮气压力 |
1.03 bar (15 psig 最小) 至 1.7 bar (25 psig 最大) |
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安装环境 |
温度40摄氏度以下，湿度85以下 |
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废气 |
配备废气处理塔或者接入厂务酸排，静态抽风压力不低于5psi,寸半抽风管 |
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电极 |
冷却 |
连个回路交叉通水，进出水方向相反 |
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