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AnPT RTR系列等离子机
2020-10-14 15:47:38
RTR 系列等离子机
AnPT R250/R500 系列等离子机
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型号 |
AnPT-R250 |
AnPT-R500 |
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生产板尺寸 |
板厚 |
25-400um |
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宽度 |
50-250mm |
50-500mm |
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产能（速度） |
孔Desmear |
0.5-4 m/min |
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表面处理 |
0.5-5m/min |
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均匀性 |
>80% |
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每槽3个点 |
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蚀刻速率 |
>0.3um/min |
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CF4用量(运行成本) |
3%-8% (Desmear) |
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纠偏精度 |
+/-1mm |
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张力控制 |
20 – 100 N （专利的防腐控制） |
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卷料最大直径 |
350mm |
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卷轴尺寸 |
3/6" (特殊的防腐卷轴） |
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真空能力 |
极限真空<30mT, 漏率<20mT/min; 工艺真空度200-300mT |
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射频电源 |
5KW/40KHz |
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氮气发生器纯度 |
99% |
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升温速率 |
1-2℃/min; (独特设计，减少升温时间) |
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优异的均匀性、高产能；低生产成本n 满足Flex/Rigid-Flex; COF; ITO Film 等各种产品和工艺制程应用需求，具有良好的工艺性能 n 优异的工艺性能，具备较高的处理均匀性和蚀刻速率 n 垂直-双极馈电型电极，保证产品双面同步均匀处理 n 独特的气体分配及优化的抽气导流设计，确保大尺寸及大批量处理的均匀性、高效 n 高效、高产能; 满足日益增长的新产品和新制程对产能的高要求 n 可灵活配置电极及气体分配方案，适应不同尺寸产品及各种载具生产环境的多种工艺需求 n 触控式操作界面，直观的图形界面可实时控制监控生产过程及工艺变量 n 整机设计紧凑，一体化设计整合各组件于主机器内， 占地面积小 n 极低的生产保养成本、维护简单便捷 n 40KHz自适应射频电源，具有优异的稳定性和工艺可 重复性 |
AnPT RTR系列等离子机 |
应用领域n 孔内除胶环氧树脂Epoxy、聚酰亚胺PI n Desmear机械钻孔后孔内胶渣(钻污)去除 n Carbon Removal碳化物去除 l 激光成孔盲孔孔内去胶(碳化物) l Flex柔性板激光切割金手指后边缘碳化物去除 n Descum精细线路间残留干膜去除(显影后残留) n 绿油残留、有机物、金属氧化物去除 n 纳米级表面粗化、应力释放 n 表面活化与清洁 n 表面改性 l 层压前处理改善材料间结合力，消除压合层分层 l PI粗化，补强前处理，增强补强贴合结合力 l 防焊前处理，有效防止涂覆防焊油墨脱落 l 丝印字符前处理，保证字符清晰、无脱落 l 材料表面活化改性，改善难粘材料间可粘性，提升粘接结合力 l 改善材料表面亲水性(润湿性), 提升材料可涂覆性和金属溅镀性 n RTR 系列适用于FPC/ITO/COF等各种基材和多种应 用需求 |
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AnPT RTR 标准技术规格
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设备尺寸 |
长x宽x高 |
H1870xW1690xD2160(mm) |
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净重 |
R250 2450Kg; ;R500 2840KG |
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工艺腔体 |
腔体尺寸(长x宽x高) |
R250 1120W x 500D x 1100H mm |
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R500 1120W x 800D x 1101H mm |
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处理槽数 |
5 槽（可根据需求增加） |
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电极 |
电极尺寸 有效处理面积 |
R250 260W x750H mm |
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R500 510W x 750H mm |
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电极类型 |
栅栏式标准温控电极 |
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射频电源 |
功率规格 |
5KW |
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频率 |
40KHz |
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气体控制 |
标准规格 其它可选配 |
标准_5slm,2slm,0.5slm 选配_2slm,2slm |
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质流量计最多可配置 |
5 |
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真空泵 |
干式真空泵 |
GXS160/1750F HV MD RE CA |
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冷却水流量 |
3slm |
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净化氮气流量 |
10slm |
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控制系统 |
人机界面 |
PLC+触屏人机界面 |
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厂务要求 |
供电需求 |
380V,50A,三相四线，50Hz |
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工艺气体接口 |
1/4 in.(6.35mm) 卡套接口 |
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工艺气体种类及纯度 |
CF4=99.97%; O2=99.996%; N2=99.99%; Ar=99.999% |
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工艺气体供应压力 |
20psi((0.15MPa) |
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净化氮气接口 |
1/4 in.(6.35mm) 卡套接口 |
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净化气体纯度 |
99.90% |
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净化气体供应压力 |
20psi((0.15MPa) |
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压缩空气接口类型 |
1/4 in.(6.35mm) 卡套接口 |
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压缩空气要求 |
洁净、干燥 |
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压缩空气供应压力 |
80-100psi |
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尾气接口 |
NW40 |
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电极冷却水 |
蒸馏水 |
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冷却水接口 |
RC 1/2in.(12.7mm) |
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选配设备 |
氮气发生器 |
35L/min(2立方米/小时) |
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冷水机 |
25KW制冷量 |
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380V,三相，6.5KW |
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废气塔 |
220V,单相 |
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