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AnPT V30 系列等离子机
2020-10-14 15:39:39
V30 系列等离子机
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型号 |
AnPT-V30 |
AnPT-V30X |
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生产板尺寸 |
板厚 |
0.1-12mm (<1mm, 挂架需要定制) |
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标准 |
22x27”(30片) |
25x30”(30片) |
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最大 |
27x44”(15片) |
30x50”(15片) |
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Cycle Time |
Desmear |
20-30min |
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Desmear+活化 |
30-45min |
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产能 |
Desmear |
60-90 pnl/hour |
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Desmear+活化 |
30-45 pnl/hour |
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均匀性 |
>80% |
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左中右三槽；每槽5-9个点 |
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蚀刻速率 |
>0.3um/min |
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CF4用量(运行成本) |
3%-8% (Desmear) |
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真空能力 |
极限真空<30mT, 漏率<30mT/min; 工艺真空度200-300mT |
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射频电源 |
10KW/40KHz |
10KW/40KHz |
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氮气发生器纯度 |
99% |
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升温速率 |
1-2℃/min; (独特设计，减少升温时间) |
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优异的均匀性、高产能；低生产成本n 满足MSAP/HDI板,高厚径比硬板，Flex/Rigid-Flex等各 种产品和工艺制程应用需求，具有良好的工艺性能 n 优异的工艺性能，具备较高的处理均匀性和蚀刻速率 n 垂直-双极馈电型电极，保证产品双面同步均匀处理 n 独特的气体分配及优化的抽气导流设计，确保大尺寸及大批量处理的均匀性、高效 n 高效、高产能; 满足日益增长的新产品和新制程对产能的高要求 n 可灵活配置电极及气体分配方案，适应不同尺寸产品及各种载具生产环境的多种工艺需求 n 触控式操作界面，直观的图形界面可实时控制监控生产过程及工艺变量 n 整机设计紧凑，一体化设计整合各组件于主机器内， 占地面积小 n 极低的生产保养成本、维护简单便捷 n 40KHz自适应射频电源，具有优异的稳定性和工艺可 重复性 |
AnPT V30 系列等离子机
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应用领域n 孔内除胶环氧树脂Epoxy、聚酰亚胺PI n Desmear机械钻孔后孔内胶渣(钻污)去除 n Etch Back回蚀/凹蚀 n Carbon Removal碳化物去除 l 激光成孔盲孔孔内去胶(碳化物) l Flex柔性板激光切割金手指后边缘碳化物去除 n PTFE活化，确保高频、通讯、背板等孔金属化性能 n Descum精细线路间残留干膜去除(显影后残留) n 绿油残留、有机物、金属氧化物去除 n 纳米级表面粗化、应力释放 n 表面活化与清洁 n 表面改性 l 层压前处理改善材料间结合力，消除压合层分层 l PI粗化，补强前处理，增强补强贴合结合力 l 防焊前处理，有效防止涂覆防焊油墨脱落 l 丝印字符前处理，保证字符清晰、无脱落 l 材料表面活化改性，改善难粘材料间可粘性，提升粘接结合力 l 改善材料表面亲水性(润湿性), 提升材料可涂覆性和金属溅镀性
n V30系列适用于PCB/FPC/MSAP/Substrate等各种基材和多种应用需求 |
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AnPT V30 标准技术规格
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设备尺寸及 规格 |
长x宽x高 |
V30:1960x1450x1960(mm) V30X:1960x1585x2135(mm) |
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净重 |
V30S 1450Kg; V30 1700Kg; V30X 1800Kg |
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工艺腔体 |
腔体尺寸(长x宽x高) |
V30S 34x34x38(in.) V30 34x45x38(in.) V30X 34x52x38(in.) |
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处理槽数 |
15 槽 |
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电极 |
电极尺寸 有效处理面积 |
V30S 33x26(in.) V30 44x27(in.) V30X 50x30(in.) |
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电极类型 |
栅栏式标准温控电极 |
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射频电源 |
功率规格 |
5KW /10KW /10KW |
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频率 |
40KHz |
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气体控制 |
标准规格 其它可选配 |
标准_5slm,2slm,0.5slm 选配_2slm,2slm |
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质流量计最多可配置数 |
5 |
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真空泵 |
干式真空泵 |
GXS160/1750F HV MD RE CA |
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冷却水流量 |
3slm |
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净化氮气流量 |
10slm |
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控制系统 |
人机界面 |
PLC+触屏人机界面 |
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厂务要求 |
供电需求 |
380V,50A,三相四线，50Hz |
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工艺气体接口 |
1/4 in.(6.35mm) 卡套接口 |
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工艺气体种类及纯度 |
CF4=99.999%; O2=99.999%; N2=99.999%; H2=99.999%; Ar=99.999% |
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工艺气体供应压力 |
20psi((0.15MPa) |
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净化氮气接口 |
1/4 in.(6.35mm) 卡套接口 |
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净化气体纯度 |
99.9% |
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净化气体供应压力 |
20psi((0.15MPa) |
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压缩空气接口类型 |
1/4 in.(6.35mm) 卡套接口 |
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压缩空气要求 |
洁净、干燥 |
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压缩空气供应压力 |
80-100psi |
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尾气接口 |
NW40 |
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电极冷却水 |
蒸馏水 |
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冷却水接口 |
RC 1/2in.(12.7mm) |
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选配设备 |
氮气发生器 |
35L/min(2立方米/小时) |
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冷水机 |
25KW制冷量 |
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380V,三相，6.5KW |
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废气塔 |
220V,单相 |
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